Rezumat al epitaxiei cu fascicul molecular (MBE)
Tehnologia epitaxiei cu fascicul molecular (MBE) a fost dezvoltată în anii 1950 pentru a prepara materiale semiconductoare subțiri cu peliculă folosind tehnologia de evaporare în vid. Odată cu dezvoltarea tehnologiei de vid ultra-înalt, aplicarea tehnologiei a fost extinsă în domeniul științei semiconductorilor.
Motivația cercetării materialelor semiconductoare este cererea de noi dispozitive, care pot îmbunătăți performanța sistemului. La rândul lor, noile tehnologii ale materialelor pot produce noi echipamente și tehnologii. Epitaxia cu fascicul molecular (MBE) este o tehnologie de vid înalt pentru creșterea straturilor epitaxiale (de obicei semiconductoare). Aceasta utilizează fasciculul de căldură al atomilor sau moleculelor sursă care impactează substratul monocristalin. Caracteristicile de vid ultra-înalt ale procesului permit metalizarea in situ și creșterea materialelor izolatoare pe suprafețe semiconductoare nou crescute, rezultând interfețe fără poluare.
Tehnologie MBE
Epitaxia cu fascicul molecular a fost efectuată în vid înalt sau vid ultra-înalt (1 x 10-8Pa). Cel mai important aspect al epitaxiei cu fascicul molecular este rata sa scăzută de depunere, care permite de obicei peliculei să crească epitaxial cu o rată mai mică de 3000 nm pe oră. O astfel de rată scăzută de depunere necesită un vid suficient de mare pentru a atinge același nivel de curățenie ca alte metode de depunere.
Pentru a îndeplini condițiile de vid ultra-înalt descrise mai sus, dispozitivul MBE (celula Knudsen) are un strat de răcire, iar mediul de vid ultra-înalt al camerei de creștere trebuie menținut folosind un sistem de circulație a azotului lichid. Azotul lichid răcește temperatura internă a dispozitivului la 77 Kelvin (−196 °C). Mediul cu temperatură scăzută poate reduce și mai mult conținutul de impurități în vid și poate oferi condiții mai bune pentru depunerea peliculelor subțiri. Prin urmare, este necesar un sistem dedicat de circulație a răcirii cu azot lichid pentru ca echipamentul MBE să ofere o alimentare continuă și constantă cu azot lichid la -196 °C.
Sistem de circulație a răcirii cu azot lichid
Sistemul de circulație a răcirii cu azot lichid în vid include în principal,
● rezervor criogenic
● țeavă principală și ramificată cu manta de vid / furtun cu manta de vid
● Separator de fază special MBE și țeavă de eșapament cu manta în vid
● diverse valve cu manta de vid
● barieră gaz-lichid
● filtru cu manta în vid
● sistem dinamic de pompă de vid
● Sistem de prerăcire și reîncălzire a purjării
Compania HL Cryogenic Equipment a observat cererea pentru sistemul de răcire cu azot lichid MBE, a organizat o coloană tehnică pentru a dezvolta cu succes un sistem special de răcire cu azot lichid MBE pentru tehnologia MBE și un set complet de izolații în vid.edsistem de conducte, care a fost utilizat în numeroase întreprinderi, universități și institute de cercetare.
Echipamente criogenice HL
HL Cryogenic Equipment, fondată în 1992, este o marcă afiliată companiei Chengdu Holy Cryogenic Equipment din China. HL Cryogenic Equipment se dedică proiectării și fabricării sistemelor de conducte criogenice izolate în vid înalt și a echipamentelor de asistență aferente.
Pentru mai multe informații, vă rugăm să vizitați site-ul oficialwww.hlcryo.comsau trimiteți un e-mail cătreinfo@cdholy.com.
Data publicării: 06 mai 2021
