Rezumat al epitaxiei cu fascicul molecular (MBE)
Tehnologia Molecular Beam Epitaxy (MBE) a fost dezvoltată în anii 1950 pentru a prepara materiale semiconductoare cu film subțire folosind tehnologia de evaporare în vid.Odată cu dezvoltarea tehnologiei de vid ultra-înalt, aplicarea tehnologiei a fost extinsă în domeniul științei semiconductorilor.
Motivația cercetării materialelor semiconductoare este cererea de noi dispozitive, care pot îmbunătăți performanța sistemului.La rândul său, noile tehnologii ale materialelor pot produce noi echipamente și noi tehnologii.Epitaxia cu fascicul molecular (MBE) este o tehnologie cu vid înalt pentru creșterea stratului epitaxial (de obicei semiconductor).Utilizează fasciculul de căldură al atomilor sursă sau al moleculelor care afectează substratul monocristal.Caracteristicile de vid ultra-înalt ale procesului permit metalizarea in situ și creșterea materialelor izolatoare pe suprafețele semiconductoare nou cultivate, rezultând interfețe fără poluare.
Tehnologia MBE
Epitaxia fasciculului molecular a fost efectuată în vid înalt sau vid ultraînalt (1 x 10-8Pa) mediu.Cel mai important aspect al epitaxiei fasciculului molecular este rata sa scăzută de depunere, care permite de obicei filmului să crească epitaxial cu o viteză mai mică de 3000 nm pe oră.O astfel de rată de depunere scăzută necesită un vid suficient de mare pentru a obține același nivel de curățenie ca și alte metode de depunere.
Pentru a îndeplini vidul ultra-înalt descris mai sus, dispozitivul MBE (celula Knudsen) are un strat de răcire, iar mediul de vid ultra-înalt al camerei de creștere trebuie menținut folosind un sistem de circulație cu azot lichid.Azotul lichid răcește temperatura internă a dispozitivului la 77 Kelvin (−196 °C).Mediul cu temperatură scăzută poate reduce și mai mult conținutul de impurități în vid și poate oferi condiții mai bune pentru depunerea filmelor subțiri.Prin urmare, este necesar un sistem dedicat de circulație de răcire cu azot lichid pentru ca echipamentul MBE să ofere o alimentare continuă și constantă cu azot lichid de -196 °C.
Sistem de circulație de răcire cu azot lichid
Sistemul de circulație de răcire cu azot lichid în vid include în principal,
● rezervor criogenic
● conductă principală și ramificată cu manta de vid / furtun cu manta de vid
● Separator special de fază MBE și țeavă de evacuare cu manta de vid
● diverse supape cu manta de vid
● bariera gaz-lichid
● filtru cu manta de vid
● sistem de pompa de vid dinamic
● Sistem de prerăcire și reîncălzire cu purjare
Compania HL Cryogenic Equipment a observat cererea sistemului de răcire cu azot lichid MBE, coloana vertebrală tehnică organizată pentru a dezvolta cu succes un sistem special de răcire cu azot lichid MBE pentru tehnologia MBE și un set complet de izolație în vid.edsistem de conducte, care a fost utilizat în multe întreprinderi, universități și institute de cercetare.
Echipament criogenic HL
HL Cryogenic Equipment, care a fost fondată în 1992, este o marcă afiliată Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company din China.HL Cryogenic Equipment se angajează să proiecteze și să producă sistemul de conducte criogenice izolate în vid înalt și echipamentele de sprijin aferente.
Pentru mai multe informații, vă rugăm să vizitați site-ul oficialwww.hlcryo.com, sau e-mail lainfo@cdholy.com.
Ora postării: mai-06-2021