Sistemele de răcire cu azot lichid sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorului și a cipurilor, inclusiv procesul,
- Tehnologia epitaxiei fasciculului molecular (MBE)
- Testul cipului după pachetul COB
Produse conexe
Seria de țeavă izolată în vid
Seria de furtunuri flexibile izolate în vid
Sistem dinamic de pompe de vid
Seria separatoare de faze izolate în vid
Seria de supape izolate în vid
Echipamente de asistență pentru sistemul de conducte
Epitaxie cu fascicul molecular
Tehnologia epitaxiei cu fascicul molecular (MBE) a fost dezvoltată în anii 1950 pentru a pregăti materiale cu filme subțiri cu semiconductor folosind tehnologia de evaporare a vidului. Odată cu dezvoltarea tehnologiei ultra-înalte, aplicarea tehnologiei a fost extinsă în domeniul științei semiconductorilor.
HL a observat cererea unui sistem de răcire a azotului lichid MBE, a organizat coloana vertebrală tehnică pentru a dezvolta cu succes un sistem special de cooare a azotului lichid MBE pentru tehnologia MBE și un set complet de sisteme de conducte izolate în vid, care a fost utilizat în multe întreprinderi, universități și instituții de cercetare în curs de cercetare .
Problemele comune ale industriei semiconductorului și a cipurilor includ,
- Presiunea azotului lichid în echipamentele terminale (MBE). Preveniți supraîncărcarea presiunii de a deteriora echipamentele terminale (MBE).
- Controluri de intrare și ieșire a lichidului criogenic multiplu
- Temperatura azotului lichid în echipament terminal
- O cantitate rezonabilă de emisii de gaze criogene
- (Automat) Comutarea liniilor principale și de ramură
- Reglarea presiunii (reducerea) și stabilitatea VIP
- Curățarea posibilelor impurități și reziduuri de gheață din rezervor
- Timpul de umplere a echipamentului lichid terminal
- Pipeline prealabile
- Rezistență la lichid în sistemul VIP
- Pierderea de control a azotului lichid în timpul serviciului discontinuu al sistemului
Țeava izolată în vid HL (VIP) este construită la ASME B31.3 Codul de conductă sub presiune ca standard. Experiența inginerească și capacitatea de control al calității pentru a asigura eficiența și rentabilitatea instalației clientului.
Soluții
Echipament criogenic HL oferă clienților sistemul de conducte izolate în vid pentru a îndeplini cerințele și condițiile industriei semiconductorului și cipului:
1. Sistem de gestionare a calității: ASME B31.3 Cod de conductă de presiune.
2. Un separator special de fază cu o intrare și o ieșire a lichidului criogenic multiplu cu funcție de control automat îndeplinește cerința emisiilor de gaze, azot lichid reciclat și temperatura azotului lichid.
3. Proiectarea de evacuare și de evacuare la timp asigură că echipamentul terminal funcționează întotdeauna în valoarea presiunii proiectate.
4. Bariera de gaz-lichid este plasată în conducta VI verticală la sfârșitul conductei VI. Bariera de lichid de gaz folosește principiul sigiliului de gaz pentru a bloca căldura de la capătul conductei VI în conducta VI și reduce eficient pierderea azotului lichid în timpul serviciului discontinuu și intermitent al sistemului.
5. VIBURI VIVI CONTROLAT DE VALVA ISSUILĂ VIVUME (VIV): inclusiv supapa de închidere izolată în vid (pneumatică), supapă de control izolată în vid, supapă de reglare izolată în vid etc. necesar. VIV este integrat cu prefabricarea VIP la producător, fără tratament izolat la fața locului. Unitatea de etanșare a VIV poate fi înlocuită cu ușurință. .
6. Cleania, dacă există cerințe suplimentare pentru curățenia suprafeței tubului interior. Este sugerat ca clienții să aleagă conducte din oțel inoxidabil BA sau EP ca conducte interioare VIP pentru a reduce și mai mult deversarea din oțel inoxidabil.
7. VACUUM Filtru izolat: curățați impuritățile posibile și reziduurile de gheață din rezervor.
8. După câteva zile sau mai lungi oprirea sau întreținerea, este foarte necesar să precoolați conductele VI și echipamentele terminale înainte de introducerea lichidului criogenic, pentru a evita zgura de gheață după ce lichidul criogenic intră direct în conductele VI și echipamentul terminal. Funcția preluată trebuie luată în considerare în proiectare. Oferă o protecție mai bună pentru echipamentele terminale și echipamentele de asistență pentru conducte VI, cum ar fi supapele.
9.Suit pentru sistemul de conducte dinamic și static Izolat (flexibil).
10. Sistem de conducte izolate (flexibil) în vid în vid: constă din furtunuri VI flexibile și/sau conductă VI, furtunuri de jumper, sistem de supape izolate în vid, separatoare de faze și sistem dinamic de pompe de vid (inclusiv pompele de vid, valvele solenoidelor și calibrele de vid etc. ). Lungimea furtunului flexibil VI poate fi personalizată în funcție de cerințele utilizatorului.
11. Tipuri de conexiune vestimentare: pot fi selectate tipul de conectare la baionetă vid (VBC) și conexiunea sudată. Tipul VBC nu are nevoie de tratament izolat la fața locului.
