Sistemele de răcire cu azot lichid sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductoarelor și a cipurilor, inclusiv în procesul de,
- Tehnologia epitaxiei cu fascicul molecular (MBE)
- Testul cipului după pachetul COB
Produse înrudite
Seria de țevi izolate în vid
Seria de furtunuri flexibile izolate în vid
Sistem dinamic de pompă de vid
Seria de separatoare de fază izolate în vid
Seria de supape izolate în vid
Echipament de suport pentru sisteme de conducte
EPITAXIA MOLECULARĂ
Tehnologia Molecular Beam Epitaxy (MBE) a fost dezvoltată în anii 1950 pentru a prepara materiale semiconductoare cu film subțire folosind tehnologia de evaporare în vid. Odată cu dezvoltarea tehnologiei de vid ultra-înalt, aplicarea tehnologiei a fost extinsă în domeniul științei semiconductorilor.
HL a observat cererea sistemului de răcire cu azot lichid MBE, coloana vertebrală tehnică organizată pentru a dezvolta cu succes un sistem special de răcire cu azot lichid MBE pentru tehnologia MBE și un set complet de sistem de conducte izolate în vid, care a fost utilizat în multe întreprinderi, universități și institute de cercetare. .
Problemele comune ale industriei semiconductoarelor și cipurilor includ:
- Presiunea azotului lichid în echipamentul terminal (MBE). Preveniți supraîncărcarea presiunii din cauza deteriorarii echipamentelor terminale (MBE).
- Controale multiple de intrare și ieșire a lichidului criogenic
- Temperatura azotului lichid în echipamentul terminal
- O cantitate rezonabilă de emisii de gaze criogenice
- Comutarea (automată) a liniilor principale și a liniilor secundare
- Reglarea presiunii (reducerea) și stabilitatea VIP
- Curățarea eventualelor impurități și reziduuri de gheață din rezervor
- Timpul de umplere al echipamentului de lichid terminal
- Prerăcirea conductei
- Rezistență la lichid în sistemul VIP
- Controlați pierderea de azot lichid în timpul serviciului discontinuu al sistemului
Conducta izolată în vid (VIP) de la HL este construită conform codului ASME B31.3 pentru conducte de presiune ca standard. Experiență în inginerie și capacitatea de control al calității pentru a asigura eficiența și rentabilitatea fabricii clientului.
SOLUȚII
Echipamentul criogenic HL oferă clienților sistemul de conducte izolate în vid pentru a îndeplini cerințele și condițiile industriei de semiconductori și cipuri:
1.Sistem de management al calității: Codul de conducte de presiune ASME B31.3.
2. Un separator de fază special cu mai multe intrări și ieșiri de lichid criogenic cu funcție de control automat îndeplinește cerințele privind emisia de gaze, azotul lichid reciclat și temperatura azotului lichid.
3. Designul adecvat și în timp util de evacuare asigură că echipamentul terminal funcționează întotdeauna în valoarea presiunii proiectată.
4.Bariera gaz-lichid este plasată în conducta verticală VI la capătul conductei VI. Bariera gaz-lichid folosește principiul etanșării cu gaz pentru a bloca căldura de la capătul conductei VI în conducta VI și pentru a reduce eficient pierderile de azot lichid în timpul serviciului discontinuu și intermitent al sistemului.
5.VI Conducte controlate de seria de supape izolate în vid (VIV): inclusiv supapă de închidere izolată în vid (pneumatic), supapă de reținere izolată în vid, supapă de reglare izolată în vid etc. Diverse tipuri de VIV pot fi combinate modulare pentru a controla VIP ca necesar. VIV este integrat cu prefabricarea VIP în producător, fără tratament izolat la fața locului. Unitatea de etanșare a VIV poate fi înlocuită cu ușurință. (HL acceptă marca de supape criogenice desemnată de clienți și apoi produce supape izolate în vid de către HL. Este posibil ca unele mărci și modele de supape să nu poată fi transformate în supape izolate în vid.)
6.Curățenia, dacă există cerințe suplimentare pentru curățarea suprafeței tubului interior. Se recomandă clienților să aleagă țevile din oțel inoxidabil BA sau EP ca țevi interioare VIP pentru a reduce și mai mult scurgerea din oțel inoxidabil.
7. Filtru izolat în vid: Curăță eventualele impurități și reziduurile de gheață din rezervor.
8. După câteva zile sau mai mult de oprire sau întreținere, este foarte necesar să prerăciți conductele VI și echipamentele terminale înainte de a intra în lichid criogenic, pentru a evita zgura de gheață după ce lichidul criogenic intră direct în conductele VI și în echipamentul terminal. Funcția de prerăcire trebuie luată în considerare în proiectare. Oferă o protecție mai bună pentru echipamentele terminale și echipamentele de susținere a conductelor VI, cum ar fi supapele.
9.Suit pentru sistemele de conducte (flexibile) izolate în vid, dinamice și statice.
10.Sistem de conducte dinamice izolate în vid: Constă din furtunuri flexibile VI și/sau conducte VI, furtunuri jumper, sistem de supape izolate în vid, separatoare de fază și sistem dinamic de pompă de vid (inclusiv pompe de vid, supape solenoide și manometre etc. ). Lungimea unui singur furtun flexibil VI poate fi personalizată în funcție de cerințele utilizatorului.
11.Diferite tipuri de conexiune: pot fi selectate tipurile de conexiune cu baionetă în vid (VBC) și conexiunea sudată. Tipul VBC nu necesită tratament izolat la fața locului.
