Sistemele de răcire cu azot lichid sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorilor și a cipurilor, inclusiv în procesul de
- Tehnologia epitaxiei cu fascicul molecular (MBE)
- Testarea cipului după pachetul COB
Produse similare
Serie de țevi izolate în vid
Serie de furtunuri flexibile izolate în vid
Sistem dinamic de pompă de vid
Seria de separatoare de fază izolate în vid
Serie de valve izolate în vid
Echipamente de asistență pentru sistemul de conducte
EPITAXIE CU FASCICUL MOLECULAR
Tehnologia epitaxiei cu fascicul molecular (MBE) a fost dezvoltată în anii 1950 pentru a prepara materiale semiconductoare subțiri cu peliculă folosind tehnologia de evaporare în vid. Odată cu dezvoltarea tehnologiei de vid ultra-înalt, aplicarea tehnologiei a fost extinsă în domeniul științei semiconductorilor.
HL a observat cererea pentru sistemul de răcire cu azot lichid MBE, a organizat o coloană tehnică pentru a dezvolta cu succes un sistem special de răcire cu azot lichid MBE pentru tehnologia MBE și un set complet de sisteme de conducte izolate în vid, care a fost utilizat în numeroase întreprinderi, universități și institute de cercetare.
Problemele comune ale industriei semiconductorilor și cipurilor includ:
- Presiunea azotului lichid în echipamentele terminale (MBE). Prevenirea suprasolicitării presiunii care ar putea deteriora echipamentele terminale (MBE).
- Comenzi multiple de admisie și ieșire a lichidului criogenic
- Temperatura azotului lichid în echipamentele terminale
- O cantitate rezonabilă de emisii de gaze criogenice
- Comutare (automată) a liniilor principale și a celor derivate
- Reglarea (reducerea) presiunii și stabilitatea VIP
- Curățarea posibilelor impurități și reziduuri de gheață din rezervor
- Timpul de umplere al echipamentului terminal de lichide
- Prerăcirea conductei
- Rezistența la lichide în sistemul VIP
- Controlul pierderii de azot lichid în timpul funcționării discontinue a sistemului
Țeava izolată în vid (VIP) de la HL este construită conform standardului ASME B31.3 pentru conducte sub presiune. Experiența în inginerie și capacitatea de control al calității asigură eficiența și rentabilitatea instalației clientului.
SOLUȚII
HL Cryogenic Equipment oferă clienților sisteme de conducte izolate în vid pentru a îndeplini cerințele și condițiile industriei semiconductorilor și cipurilor:
1. Sistem de management al calității: Codul ASME B31.3 pentru conducte sub presiune.
2. Un separator de faze special cu intrări și ieșiri multiple de lichid criogenic și funcție de control automat îndeplinește cerințele privind emisiile de gaze, azotul lichid reciclat și temperatura azotului lichid.
3. Proiectarea adecvată și la timp a sistemului de evacuare asigură că echipamentul terminal funcționează întotdeauna în limita valorii de presiune proiectate.
4. Bariera gaz-lichid este plasată în conducta verticală VI la capătul acesteia. Bariera gaz-lichid folosește principiul etanșării cu gaz pentru a bloca căldura de la capătul conductei VI în conductele VI și pentru a reduce eficient pierderea de azot lichid în timpul funcționării discontinue și intermitente a sistemului.
5. Conducte VI controlate de seria de valve izolate în vid (VIV): Include valve de închidere (pneumatice) izolate în vid, valve de sens unic izolate în vid, valve de reglare izolate în vid etc. Diverse tipuri de VIV pot fi combinate modular pentru a controla VIP-ul, după cum este necesar. VIV-ul este integrat cu prefabricarea VIP în producător, fără tratament izolator la fața locului. Unitatea de etanșare a VIV-ului poate fi înlocuită cu ușurință. (HL acceptă marca de valve criogenice desemnată de clienți și apoi produce valve izolate în vid de la HL. Este posibil ca unele mărci și modele de valve să nu poată fi transformate în valve izolate în vid.)
6. Curățenia, dacă există cerințe suplimentare pentru curățenia suprafeței tubului interior. Se sugerează ca clienții să aleagă țevi din oțel inoxidabil BA sau EP ca țevi interioare VIP pentru a reduce și mai mult scurgerile de oțel inoxidabil.
7. Filtru izolat în vid: Curățați posibilele impurități și reziduurile de gheață din rezervor.
8. După câteva zile sau mai mult timp de oprire sau întreținere, este foarte necesară prerăcirea conductelor VI și a echipamentelor terminale înainte de introducerea lichidului criogenic, pentru a evita formarea de zgură după ce lichidul criogenic intră direct în conductele VI și în echipamentele terminale. Funcția de prerăcire trebuie luată în considerare la proiectare. Aceasta oferă o mai bună protecție pentru echipamentele terminale și echipamentele de suport ale conductelor VI, cum ar fi valvele.
9. Potrivit atât pentru sisteme de conducte dinamice, cât și statice, izolate în vid (flexibile).
10. Sistem de conducte dinamice izolate în vid (flexibile): Constă din furtunuri flexibile VI și/sau țevi VI, furtunuri de legătură, sistem de valve izolate în vid, separatoare de faze și sistem de pompe de vid dinamice (inclusiv pompe de vid, electrovalve și vacuometre etc.). Lungimea furtunului flexibil VI poate fi personalizată în funcție de cerințele utilizatorului.
11. Diverse tipuri de conexiuni: Se pot selecta tipuri de conexiune tip baionetă în vid (VBC) și conexiune sudată. Tipul VBC nu necesită tratament izolator la fața locului.
