Epitaxia cu fascicul molecular, sau MBE, este o tehnică nouă pentru creșterea peliculelor subțiri de cristale de înaltă calitate pe substraturi cristaline. În condiții de vid ultra-înalt, o sobă de încălzire este echipată cu toate componentele necesare și generează abur. Prin găurile formate după colimarea fasciculului atomic sau molecular, injectează direct aburul la temperatura corespunzătoare a substratului monocristalin. În același timp, controlează scanarea fasciculului molecular către substrat, ceea ce poate face ca moleculele sau atomii să creeze pelicule subțiri în straturile de aliniere a cristalului pe substrat.

Pentru funcționarea normală a echipamentelor MBE, este necesar ca azotul lichid de înaltă puritate, presiune scăzută și ultra-pur să fie transportat continuu și stabil în camera de răcire a echipamentului. În general, un rezervor care furnizează azot lichid are o presiune de ieșire între 0,3 MPa și 0,8 MPa. Azotul lichid la -196 ℃ se vaporizează ușor în azot în timpul transportului prin conductă. Odată ce azotul lichid cu un raport gaz-lichid de aproximativ 1:700 este gazificat în conductă, acesta va ocupa o cantitate mare de spațiu de curgere a azotului lichid și va reduce debitul normal la capătul conductei de azot lichid. În plus, în rezervorul de stocare a azotului lichid, este probabil să existe resturi care nu au fost curățate. În conducta de azot lichid, prezența aerului umed va duce, de asemenea, la generarea de zgură de gheață. Dacă aceste impurități sunt deversate în echipament, acestea vor provoca daune imprevizibile.

Prin urmare, azotul lichid din rezervorul de stocare exterior este transportat către echipamentul MBE în atelierul fără praf cu eficiență ridicată, stabilitate și curățenie, iar presiunea scăzută, fără azot, fără impurități, 24 de ore neîntrerupt, un astfel de sistem de control al transportului este un produs calificat.