Tehnologie
Epitaxia fasciculului molecular, sau MBE, este o nouă tehnică pentru creșterea unor filme subțiri de cristale de înaltă calitate pe substraturi de cristal. În condiții de vid ultra-înalt, soba de încălzire este echipată cu tot felul de componente necesare și generează abur, prin găurile formate după colimarea fasciculului atomic sau molecular, injectare directă la temperatura corespunzătoare a substratului monocristal, controlând fascicul molecular la scanarea substratului în același timp, poate face ca moleculele sau atomii din straturi de aliniere de cristal să formeze o peliculă subțire pe o „creștere” a substratului.
Pentru funcționarea normală a echipamentului MBE, este necesar ca azotul lichid de înaltă puritate, presiune joasă și ultra-curat să fie transportat în mod continuu și stabil în camera de răcire a echipamentului. În general, un rezervor care furnizează azot lichid are o presiune de ieșire între 0,3 MPa și 0,8 MPa. Azotul lichid la -196 ℃ este ușor vaporizat în azot în timpul transportului prin conductă. Odată ce azotul lichid cu un raport gaz-lichid de aproximativ 1:700 este gazificat în conductă, acesta va ocupa o cantitate mare de spațiu de curgere a azotului lichid și va reduce debitul normal la capătul conductei de azot lichid. În plus, în rezervorul de stocare cu azot lichid, este posibil să existe resturi care nu au fost curățate. În conducta de azot lichid, existența aerului umed va duce și la generarea de zgură de gheață. Dacă aceste impurități sunt descărcate în echipament, aceasta va cauza daune imprevizibile echipamentului.
Prin urmare, azotul lichid din rezervorul de stocare exterior este transportat la echipamentul MBE în atelierul fără praf cu eficiență ridicată, stabilitate și curat, iar presiunea scăzută, fără azot, fără impurități, 24 de ore neîntrerupt, un astfel de sistem de control al transportului este un produs calificat.
Echipament MBE potrivit
Din 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) a optimizat și îmbunătățit acest sistem și a cooperat cu producătorii internaționali de echipamente MBE. Producătorii de echipamente MBE, inclusiv DCA, REBER, au relații de cooperare cu compania noastră. Producătorii de echipamente MBE, inclusiv DCA și REBER, au cooperat într-un număr mare de proiecte.
Riber SA este un furnizor global de top de produse pentru epitaxie cu fascicule moleculare (MBE) și servicii conexe pentru cercetarea semiconductorilor compuși și aplicațiile industriale. Dispozitivul Riber MBE poate depune straturi foarte subtiri de material pe substrat, cu controale foarte ridicate. Echipamentul de vid al HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) este echipat cu Riber SA Cel mai mare echipament este Riber 6000 iar cel mai mic Compact 21. Este in stare buna si a fost recunoscut de clienti.
DCA este liderul MBE de oxid din lume. Din 1993, s-a realizat dezvoltarea sistematică a tehnicilor de oxidare, a încălzirii substratului antioxidant și a surselor antioxidante. Din acest motiv, multe laboratoare de top au ales tehnologia oxidului DCA. Sistemele MBE cu semiconductori compozit sunt utilizate în întreaga lume. Sistemul de circulație cu azot lichid VJ al echipamentelor criogenice HL (HL CRYO) și echipamentele MBE ale mai multor modele de DCA au experiența potrivită în multe proiecte, cum ar fi modelul P600, R450, SGC800 etc.
Tabelul de performanță
Institutul de Fizică Tehnică din Shanghai, Academia Chineză de Științe |
Cel de-al 11-lea Institut din China Electronics Technology Corporation |
Institutul de Semiconductori, Academia Chineză de Științe |
Huawei |
Academia Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Ora postării: 26-mai-2021