Epitaxia fasciculului molecular, sau MBE, este o nouă tehnică pentru creșterea unor filme subțiri de cristale de înaltă calitate pe substraturi de cristal.În condiții de vid ultra-înalt, soba de încălzire este echipată cu tot felul de componente necesare și generează abur, prin găurile formate după colimarea fasciculului atomic sau molecular, injectare directă la temperatura corespunzătoare a substratului monocristal, controlând fascicul molecular la scanarea substratului în același timp, poate face ca moleculele sau atomii din straturi de aliniere de cristal să formeze o peliculă subțire pe o „creștere” a substratului.

Pentru funcționarea normală a echipamentului MBE, este necesar ca azotul lichid de înaltă puritate, presiune joasă și ultra-curat să fie transportat în mod continuu și stabil în camera de răcire a echipamentului.În general, un rezervor care furnizează azot lichid are o presiune de ieșire între 0,3 MPa și 0,8 MPa. Azotul lichid la -196 ℃ este ușor vaporizat în azot în timpul transportului prin conductă.Odată ce azotul lichid cu un raport gaz-lichid de aproximativ 1:700 este gazificat în conductă, acesta va ocupa o cantitate mare de spațiu de curgere a azotului lichid și va reduce debitul normal la capătul conductei de azot lichid.În plus, în rezervorul de stocare cu azot lichid, este posibil să existe resturi care nu au fost curățate.În conducta de azot lichid, existența aerului umed va duce și la generarea de zgură de gheață.Dacă aceste impurități sunt descărcate în echipament, aceasta va cauza daune imprevizibile echipamentului.

Prin urmare, azotul lichid din rezervorul de stocare exterior este transportat la echipamentul MBE în atelierul fără praf cu eficiență ridicată, stabilitate și curat, iar presiunea scăzută, fără azot, fără impurități, 24 de ore neîntrerupt, un astfel de sistem de control al transportului este un produs calificat.